三フッ化水素とは?フッ化水素との違いや半導体問題の真相を徹底解説

三フッ化水素とは?フッ化水素との違いや半導体問題の真相を徹底解説

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なぜ日本政府の輸出管理措置が、世界屈指の半導体メモリ大国である韓国企業に深刻な衝撃を与えたのでしょうか。その答えは、日本の化学メーカーが長年培ってきた「超高純度精製技術」の圧倒的な寡占力にありました。

半導体微細化のプロセスでは、シリコンウエハー上にナノメートル(10億分の1メートル)単位の極微回路を形成します。そこに不純物がわずかでも混入すれば、配線の短絡や歩留まりの壊滅的な低下を引き起こします。ここで求められるフッ化水素の純度は、実に「12N(トゥエルブナイン=99.9999999999%)」という、不純物が1兆分の1以下という極限のレベルです。

この神業に近い純度を安定して量産できる企業として世界に名を馳せるのが、大阪に本社を置くステラケミファや森田化学工業です。フッ化水素自体はホタル石と硫酸を反応させれば比較的容易に作ることができますが、超高純度化への精製プロセス、さらには極微細な金属不純物すら溶出させない特殊な容器への充填技術や輸送ノウハウは、数十年におよぶ研究開発と現場の試行錯誤の結晶です。当時、最先端DRAMや3D NAND型フラッシュメモリの製造ラインは、これら日本メーカーの供給なしには1日たりとも稼働できない構造になっていました。

佐藤 大輔
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佐藤 大輔

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